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- Kiyo Product Family - Lam Research
Metal gates and high-k dielectric materials in the device stack need advanced multi-film etching capability Leading-edge chip designs require etching structures such as recessed channel and 3D gate transistors, as well as conventional planar transistors
- 3分钟快速了解 Lam Research 蚀刻平台Kiyo 和 Flex 系列的技术解析与对比 - 知乎
Kiyo 系列最早推出于65nm 时代，随着28nm、14nm、7nm、5nm工艺的发展不断优化，逐步成为导体蚀刻（Conductor Etch）的主力设备⚡ Flex 系列主要用于介质蚀刻（Dielectric Etch），支持3D NAND、FinFET 绝缘层、DRAM 介质刻蚀，尤其擅长高深宽比（HAR）结构的加工 ️
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2300 Kiyo G Series Options : Advanced MMP ARIA Presto : 1 2300 Kiyo G Series Options : Window Type EPC Window (-385) 1 2300 Kiyo G Series Options : Electrostatic Chuck Corvus TX, (TES 2 5) 1 : 2300 Kiyo G Series Options Edge Ring Temp Optimization : High Temp 1 : 2300 Kiyo G Series Options Injector : HDC Injector 1 :
- KIYO系列產品 - Lam Research
Lam Research的Kiyo ® 系列產品能以高生產力提供精密、穩定形成這些導體結構所需的優異效能。 針對某些應用，透過我們的Reliant ® 系統還可選擇一些機型作為整修產品，能以較低的擁有成本提供與新系統相同的品質保證與效能。
- 纳米集成电路制造工艺-第八章（干法刻蚀）先进的干法刻蚀反应器 - 知乎
2004年推出了用于65nm的2300 Kiyo系列，它除增强了泵的能力外，还增加了可调谐 静电卡盘 （ESC），并能够在晶圆中心与边缘实行独立的温度控制。 这种可调谐的功能可以集成到一步步控制晶圆温度，增大了工艺窗口，却不会对等离子发生扰动。
- KIYO产品系列 - Lam Research
泛林集团Kiyo ® 产品系列拥有高性能特性，可以精确、稳定地形成导电结构，且具有高生产效率。 针对某些应用，我们的Reliant ® 翻新产品系列已经推出一些特定型号，以更低的持有成本提供与新系统相同的质量保证和性能。
- KIYO シリーズ製品 - Lam Research
ラムリサーチのKiyo® シリーズは、これら導電体を精密かつ高い再現性で形成できる高機能でかつ高生産性を発揮します。用途によっては当社のReliant®シリーズのリファブ製品も利用できます。コストを抑えつつ、新品同様の性能と品質保証が得られます。
- 科林研发Kiyo(R)系列产品为高级存储器提供关键导体刻蚀-电子工程世界
Kiyo F系列以科林研发市场领先的Kiyo导体刻蚀产品为基础，为高级存储器应用带来了高生产率和最小可变性。科林研发的MMP技术为垂直剖面提供了先进的剖面 和CD控制，为一致的刻蚀深度提供了良好的选择性和自校正控制。
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